分类:知识大全时间:2023-03-03 12:26作者:未知编辑:猜谜语
目前,ASML的EUV光刻机是世界上唯一能够满意22nm以下工艺芯片生产要求的设备,而EUV光刻机是生产10nm以下芯片不可或缺的设备。一台EUV光刻机的价格是1.48亿欧元,折合人民币11.74亿元。媒体称,TSMC购买了30多套EUV光刻机,而三星购买了不到20套EUV光刻机。
围绕芯片制造中使用的要害设备——光刻机,从来不缺少话题。
例如,EUV光罩对准器的价格是多长?谁买了这些EUV光刻机?大陆厂商还能买到光刻机吗?为什么三星高管最近要去荷兰参观ASML总部?
事实上,在ASML和TSMC发布的最新三季报和业绩简报中,可以找到上述问题的一些答案。两家公司的地位就不用说了,前者是全球顶级的光刻机龙头,后者是全球芯片制造龙头。
关于售价,ASML总裁兼首席执行官彼得韦尼克(Peter wernicke)在10月14日介绍公司第三季度业绩后给出了答案。他说,“我们第三季度的新订单达到29亿欧元,其中5.95亿欧元来自4台EUV设备。”简朴来说,一台EUV光刻机的价格是1.48亿欧元,折合人民币11.74亿元。
图片来源:ASML官网
这是什么概念?2019年,有1462家a股上市公司营业收入低于11.74亿元。换句话说,ASML每年卖出一台EUV光刻机,营收就能打败1/3的a股公司。
这么高的价格,ASML根本不担心买家,公司担心的是产能跟不上需求。
目前,ASML的EUV光刻机是世界上唯一能够满意22nm以下工艺芯片生产要求的设备,而EUV光刻机是生产10nm以下芯片不可或缺的设备。
据了解,EUV光刻机无需多次曝光即可一次性曝光所需精细图形,超纯水与晶圆无接触,因此在产品生产周期、光学邻近效应校正的复杂度、工艺控制、良率等方面具有明显优势。
ASML的EUV口罩对齐器也在创新。10月14日,该公司还宣布了EUV路线图上新型号TWINSCANNXE:3600D的最终规格。曝光速度达到每小时160片,提高生产效率18%。计划2021年年中开始交付。
芯片制造商竞相采购
ASML的EUV光刻机于2016年正式上市,主要供给给三大客户:英特尔、TSMC和三星。其EUV的掩模对准器出货量一直在增加,从2016年的5个增加到2019年的26个。
目前TSMC已经将量产工艺推至5nm,大幅领先英特尔和三星;同时,按照计划,该公司的3nm工艺将于明年试产,2022年下半年正式量产。重要的是,客户对其7nm工艺和5nm工艺的需求非常强烈,这两种工艺的营收在第三季度已经达到43%。因此,TSMC对EUV光刻机的需求无疑是最大的。
图片来源:TSMC三季报
近日,有媒体报道称,由于先进技术的顺利推进和订单的扩大,TSMC将增加EUV光刻机的采购。预计2021年底采购量将达到55台左右。在接受中国证券报采访时,TSMC表示,公司不评论市场传言。前述媒体援引半导体供给链的消息称,TSMC购买了30多套EUV光刻机,三星购买了不到20套EUV光刻机。
在ASML发布2020年第三季度财务报告的当天,首席财务官罗杰达森(Roger Dassen)在一次文章采访中被问及美国禁止半导体出口对ASML的业务有何影响。达森回应称,他们已经注重到美国的禁令,并意识到禁令对中国客户的影响。
后来,大森解释了ASML出口到光刻机。他说,“假如我们想解释美国法规对ASML的影响,我们仍旧可以直接从荷兰向我们的中国客户出口DUV光刻机,无需任何出口许可证。”
然而,他后来补充说,假如相关系统或部件从美国出口,该设备仍需得到美国国务院的许可
根据宣布的财报电话会议录音,Wernicke在大会上也证明了这一点。韦尼克表示,根据美国现行法规,从荷兰直接出口到中国的DUV光刻机不会受到影响。
但Dasen和wernicke都强调了DUV对光刻机的出口,并没有提到更先进的EUV(极紫外)光刻机。彭博在14日的报告中也强调,DUV规则不适用于EUV光刻机。ASML必须获得向中国企业出口EUV光刻机的许可证。然而,荷兰政府已经暂停了EUV光刻机的出口许可,直到现在还没有获得批准。
“尽管夹在中国和美国之间,ASML仍在努力工作,”彭博报道。
EUV光刻机和DUV光刻机有什么区别?
低端和高端的区别。
根据曝光来源的不同,光刻机可分为EUV型(极紫外)和DUV型(深紫外)。从工艺范围来看,DUV只能做到25nm,而EUV可以满意10nm以下的晶圆制造要求。
有网友对此消息表示:DUV光刻机是二类产品,自然不受限制。
EUV光刻机是实现7纳米的要害设备。假如中国大陆不能引进ASML的EUV光刻机,就意味着大陆将止步于7nm工艺。
目前,SMIC已经订购了一台EUV。很贵,但不是买一个的唯一理由,而是因为买的太多了,所以现在真的不需要了。
有一个博士对微电子的分析。在这一条上,经过两三代技术节点(14 nm-"10 nm-"7 nm-"5 nm),我们依然专注于产品研发。假如EUV是必要的,它是5纳米及以下,直到7纳米,DUV是足够的。
三星、英特尔和TSMC抢购EUV,因为他们现在就想使用它。三星和TSMC都已经开始攻击3nm。而SMIC,在逻辑器件领域,确实是第二梯队。下一代和下一代的研发不一定是EUV,DUV完全够用。需要静下心来思索光刻过程。
根据ASML宣布的财报,2020年第三季度,ASML在光刻机方面的净销售额达到31亿欧元,中国大陆市场的收入占比21%。第三季度,ASML的总净销售额达到约40亿欧元,净收入近11亿欧元。值得一提的是,EUV光刻机的收入占比非常高,贡献了光刻机66%的销售额。
今年5月,ASML与无锡高新区签署战略合作协议,对无锡高新区ASML光刻设备技术服务(无锡)基地进行扩建升级。此前,ASML已在北京、上海、深圳、无锡等地开设分公司,为客户提供服务和咨询,其中深圳是其亚洲最大的软件研发中央。
ASML垄断了全球光刻机市场,但核心资本仍把握在美国手中。所以,虽然消息是好消息,但现实可能是DUV可以解燃眉之急,自研的路还是要走。
来源:中国证券报,新智元。